光子芯片自动测试平台
最近,在美国2022 OFC会议上,Luna推出了一款光子芯片自动测试解决方案,为快速批量化测试硅光芯片提供了希望。此款光子芯片测试平台是由Luna 6415器件分析仪结合 Maple Leaf Photonics 系统组成。
Luna 6415光学器件分析仪是一款快速且易于使用的光无源器件件和模块分析设备。Luna 6415集成了luna公司在OVA、OBR和激光器领域的最新技术。Luna 6415可以在反射或透射模式测量并分析器件的插入损耗 (IL) 和回波损耗 (RL) 随长度的分布情况。
Luna 6415利用光频域反射(OFDR)技术来测量背向散射或透射光与距离的函数关系。极高的灵敏度(-135dB)和采样分辨率(20μm)使Luna 6415成为光子芯片(PIC)和硅光子学的理想测试工具。Luna 6415 通过单台仪器测量反射或透射中的 RL、IL 和长度的关系,降低了测试的成本和复杂性,同时提高了吞吐量。
Luna 6415自动探针台样机
Luna公司在OFC会议上展示的6415光子芯片自动测试平台
自动对准测试
样品示意图(Si/Si3N4/SiO2 芯片上制造低kappa值窄带宽Si3N4 FBG)
Si3N4 FBG自动测试结果
Luna 6415光学器件分析仪是一款快速且易于使用的光无源器件件和模块分析设备。Luna 6415集成了luna公司在OVA、OBR和激光器领域的最新技术。Luna 6415可以在反射或透射模式测量并分析器件的插入损耗 (IL) 和回波损耗 (RL) 随长度的分布情况。
Luna 6415利用光频域反射(OFDR)技术来测量背向散射或透射光与距离的函数关系。极高的灵敏度(-135dB)和采样分辨率(20μm)使Luna 6415成为光子芯片(PIC)和硅光子学的理想测试工具。Luna 6415 通过单台仪器测量反射或透射中的 RL、IL 和长度的关系,降低了测试的成本和复杂性,同时提高了吞吐量。
Luna 6415自动探针台样机
Luna公司在OFC会议上展示的6415光子芯片自动测试平台
自动对准测试
样品示意图(Si/Si3N4/SiO2 芯片上制造低kappa值窄带宽Si3N4 FBG)
Si3N4 FBG自动测试结果
Luna 6415器件分析仪,可以看到设备可自动测试待测FBG的相关数据,测试照片给出了待测晶圆上不同FBG的反射光谱。通常在几分钟内就可以获得待测器件的全部信息。
随着光子芯片对测试更高精度和更快速度的要求,Luna 6415可为业界提供快速精准的测试,大大减少测试时间,实现光子芯片领域自动化在片测试和分片后的封装测试。
基于Maple Leaf Photonics的自动探针台,可自由搭配Luna公司的光矢量网络分析仪OVA 5100设备、高精度背光反射计OBR 4600设备以及偏振管理设备NRT-2500,以充分获取待测器件的各种信息。
随着光子芯片对测试更高精度和更快速度的要求,Luna 6415可为业界提供快速精准的测试,大大减少测试时间,实现光子芯片领域自动化在片测试和分片后的封装测试。
基于Maple Leaf Photonics的自动探针台,可自由搭配Luna公司的光矢量网络分析仪OVA 5100设备、高精度背光反射计OBR 4600设备以及偏振管理设备NRT-2500,以充分获取待测器件的各种信息。